晶格有序度的均匀性:
这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。
主要分类有两个大种类:
蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4、真空度
5、镀膜时间,厚度大小。
组分均匀性:
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
晶向均匀性:
1、晶格匹配度
2、基片温度
3、蒸发速率
(2)各种镀膜技术都需要有一个蒸发源或靶子,以便把蒸发制膜的材料转化成气体。但(QCM)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。由于源或靶的不断改进,大大扩大了制膜材料的选用范围,无论是金属、金属合金、金属间化合物、陶瓷或有机物质,都可以蒸镀各种金属膜和介质膜,而且还可以同时蒸镀不同材料而得到多层膜。
(3)蒸发或溅射出来的制膜材料,在与待镀的工件生成薄膜的过程中,对其膜厚可进行比较的测量和控制,从而保证膜厚的均匀性。
手机镀膜机的工艺流程,塑料薄膜的镀铝工艺一般采用直镀法,即将铝层直接镀在基材薄膜表面。组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。BOPET、BOPA薄膜基材镀铝前不需进行表面处理,可直接进行蒸镀。而BOPP、和CPP、PE等非极性塑料薄膜,在蒸镀前需对薄膜表面进行电晕处理或涂布黏合层,使其表面张力达到38-42达因/厘米或具有良好的粘合性。蒸镀时,将卷筒薄膜置放于真空室内,关闭真空室抽真空。
这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性,是当代的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。这项工艺已经成为了电子元器件制造中的一项不可或缺的技术,主要是为了使产品表面具有耐磨损耐高温,耐腐蚀等优于产品本身的性能,从而提高产品的质量,延长加工产品的使用寿命,不仅如此,还可以节约能源,获得更为显著的技术经济效益。Parylene是一种保护性高分子材料,中文名,聚对二,派瑞林它可在真空下气相沉积,Parylene活性分子的良好穿透力能在元件内部、底部,周围形成无,厚度均匀的透明绝缘涂层,给元件提供一个完整的防护涂层,抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害,因为Parylene不是液体,所以涂敷过程中不会聚集,桥接式形成弯月面。
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