厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成,以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
括全钢、钢木、PP、不锈钢结构的实验室家具、实验台(仪器台)、天平台、柜、通风柜/橱、器皿柜、防爆气瓶柜、防腐蚀药品柜、排风试剂柜、洁净工作台,实验室集中供气系统、实验室排风系统、无菌微生物、恒温恒湿实验室装饰以及与实验室相关配套的基础装备;产品设计风格彰显人性化、功能化,可满足实验室不同环境的要求,为客户营造一个功能齐全、安全舒适、绿色环保、全新的实验室立体空间。
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成,以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
3.大宗特气供气系统
大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大,采用先进的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成,以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
高纯供气系统功能:
可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;氮气吹扫起源等等。
高纯供气系统设计
1.材料的选择
特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、(<0.003微米)、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等,采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。
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