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无尘洁净室(Clean Room),亦称为无尘室,洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
洁净车间的棚顶和墙板(涵盖夹芯资料)必须是不焚烧体,且不行以运用有机复合资料。棚顶的耐火极限不行少于0.4小时,分散走道棚顶的耐火极限不行少于1小时。在一个防火区内的综合性工业厂房,其洁净出产区域与一般出产区域两者之间应规划为非焚烧体隔墙密封到顶。隔墙以及相关联的顶板其耐火极限不行少于1小时,墙面上的门窗耐火极限不行少于0.6小时。穿过隔墙或顶板的电缆电线其周围缝隙应运用非焚烧资料堵塞填充。
我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初,在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快,相继建成一批洁净厂房,并研制成功100级单向流洁净室;与此同时,洁净厂房用设备和资料,如过滤器,洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功,并投入出产,虽然制作质量和某些工程指标与世界水平尚有差距,但已能满足国内部分需求,到20世纪70年代末我国洁净室规划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。
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